Класификација
Класификација of microsensors:
Према томе да ли постоји снабдевање енергијом, може се поделити на активне микросензоре (на пример: пиезоелектричне) и пасивне микросензоре (на пример: флуоресцентне)
Према различитим објектима које микросензори могу да мере, они се могу поделити у следећих девет категорија:
Механички микросензори: микросензори који се користе за мерење силе, деформације, померања и брзине.
Електрични микросензори: микросензори који се користе за мерење струје, потенцијала, отпора и капацитивности.
Магнетни микросензор: микросензор који се користи за мерење величине магнетног поља, поларитета магнетног поља, магнетног флукса и пермеабилности.
Термални микросензор: микросензор који се користи за мерење температуре, специфичног топлотног капацитета, топлотне проводљивости и топлотног капацитета.
Акустични микросензор: Микро-сензор који се користи за мерење амплитуде, фазе, поларизације и спектра звука.
Оптички микро-сензор: микро-сензор који се користи за мерење спектра, брзине таласа, амплитуде и фазе.
Микро-сензор зрачења: микро-сензор за рендгенско, ултраљубичасто, микроталасно и радио таласно мерење.
Хемијски микросензор: Микросензор који се користи за мерење састава, концентрације, влажности и пХ вредности.
Биолошки микросензори: микросензори за мерење хормона, антигена, шећера и биомасе.
