Имерсионната фотолитография е дизайн на оптичен път, който съчетава пречупване и отражение, може да намали броя на оптичните компоненти на прожекционната система, да контролира аберациите и топлинните ефекти и да реализира числената апертура Na от 1,35. Когато имерсионната фотолитография не е напълно потопена във водата, а се пълни с вода само между зоната на експозиция и фотолитографския обектив. Главата за експониране (Главата за експониране) трябва да бъде специално проектирана, за да гарантира: (1) вода да навлиза в повърхността на пластината - движение на сканиране, без изтичане; (2) Във водата няма мехурчета и частици. При дължина на вълната 193 nm индексът на пречупване на водата е 1,44 и може да се постигне NA.
Фигура 1 е схематична диаграма на фотолитография с потапяне, дейонизирана вода, която се отстранява допълнително, обезмасляване, вливане в експониращата глава след постоянна температура, пълнене между пластината и лещата, след това Изобилно. В допълнение към повърхностното напрежение, експониращата глава също е проектирана със специално насочване (въздушен нож), за да се гарантира, че водата не се открива лесно отстрани.
